压缩空气精密过滤器是用于过滤压缩空气中固体颗粒、水滴及油雾等气溶胶类杂质的过滤装置，常见的压缩空气精密过滤器性能参数有：过滤精度、残余油份、过滤效率、处理流量等。

过滤精度：衡量压缩空气过滤器的性能指标。从过滤器的精度来看，影响压缩空气过精度最关键的是滤芯，而过滤器的滤芯决定着空气过滤器的精度。 

残余油份：一般指液体油，并不包括气体油，油份数值越低则过滤性能越好。

过滤效率：所过滤的杂质与进气口压缩空气中杂质的比率，一般而言精密过滤器的过滤效率能达到99%，而高效精密过滤器则能达到99.99%。

处理流量：是指精密过滤器能够处理的流量值，流量的选择要根据空压机的流量来定，一般会选择大于或者等于空压机的流量。